ion-milling (이온밀링)

이온 밀링(Ion milling)은 고에너지 Ar 이온 빔을 사용하여 단면을 밀링하는 장비입니다.
반도체, 금속, 세라믹, 유기물 등 다양한 소재의 표면을 정밀하게 깎아내는데 사용됩니다.

• 식각 과정에서 마운팅&연마 방법 보다 손상이 적어 온전한 단면 형상을 얻을 수 있습니다.
• 로딩 가능 최대 시료 크기 : 25mm x15mm x 10mm (가로x세로x높이)
• 이상적인 크기 : 5~15mm x 5~10mm x 3~7mm